雄安新区投运全球顶尖纳米级微振动实验室 突破多项技术封锁

来源：徽声在线科技频道

徽声在线记者 李明轩

记者今日从权威渠道获悉，由国投集团旗下中国电子工程设计院股份有限公司（简称"中国电子院"）主导建设的全球首个纳米级微振动实验室，已于近日在河北雄安新区正式启动运营。该实验室作为国投集团在高端电子制造领域重点布局的国家级科研创新平台，标志着我国在精密制造领域的基础研究能力迈入国际领先行列。

中国电子院首席技术官杨光明在接受采访时表示："这座实验室将深度赋能半导体制造、航天工程、精密仪器研发及生物医药等战略性产业，通过构建'软实力'与'硬装备'的协同创新体系，助力我国突破高精密制造领域的技术瓶颈。"据介绍，实验室核心装备——微振动模拟实验台，是我国科研团队自主研发的全球最大尺寸、最高精度的振动控制平台。

技术参数显示，该实验台采用4米×4米的超大工作平面，台体自重达50吨，设计承载能力突破20吨级。其振动控制精度达到纳米级标准，最小振动幅值仅为地球自转脉动的千分之一，可完全满足12英寸晶圆制造设备、卫星整星载荷等大型精密装置的振动测试需求。这项突破使得我国在微振动环境模拟领域实现从跟跑到领跑的跨越。

在核心技术方面，实验台搭载中国电子院自主研发的第三代空气弹簧主动隔振系统，通过多级振动隔离架构，可有效屏蔽地基振动、建筑结构振动等环境干扰，在台面构建出超纯净的微振动实验空间。配套的高精度直线电机作动器，实现了0.001伽至5伽的宽频带加速度输出，能够精准复现从极微弱背景振动到强冲击的全频段振动环境，覆盖电子信息、航空航天等领域的全应用场景。

实验室的创新性还体现在振动波形模拟能力上。该平台可生成正弦波、随机波、扫频波等20余种标准波形，支持单轴精密控制与三轴同步耦合模拟。通过多自由度振动耦合算法，既能开展特定频率的精细化分析，也能还原复杂工况下的随机振动场景，为航天器结构疲劳测试、半导体设备可靠性验证等提供接近真实环境的实验条件。

杨光明特别指出："实验室的建成运营，成功打通了我国战略性产业从研发到量产的关键验证环节。"据测算，该平台填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容限标准、隔振装置评价体系等12项技术空白，相关成果已应用于30余家科研机构和企业的装备研发，预计每年可为我国高端装备制造产业节省超5亿元的验证成本。

业内专家认为，纳米级微振动实验室的投运，不仅强化了我国在半导体制造、航天工程等领域的自主创新能力，更为构建安全可控的产业链供应链提供了重要保障。随着实验室服务能力的持续释放，其在推动制造强国、航天强国战略实施中的作用将愈发凸显。